solidwork3D编辑图
.整机外观尺寸：1750x850x2325mm(长宽高)
2.FFU过滤效率h14
3.12寸晶圆片通过传送到高效吹淋段前停止待进（传感器未画），吹淋区闸门气缸驱动打开，晶圆片进入到停止位停止，闸门关闭，时间到，出口闸门打开，晶圆片传送出吹淋区后，闸门关闭，重复上述节拍，吹淋区下面有被动排风装置（负压区），保持高低洁净区为低压状态，保证隔离不污染周围区域。
4.该装置用于低净化区到高净化区使用，如表面研磨好的产品到清洗区域等。
5.壳体采用不锈钢钣金无尘，该模型可做为实际设计参考，简单实用，可做为晶圆片表面研磨后清洗之桥架功能。
主视图
俯视图
左视图
3D图
