硅片传送设备模型
硅片传送设备，用于硅片的自动上下料系统，包括自动上料组件和自动下料组件，运动包括纵向进给和横向进给，采用伺服电机及齿轮齿条传动机构。结构简单运动可靠。
硅片传送设备内部结构
硅片传送设备内部结构轴测图
桁架上料结构
输送细节
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