三维模型
本机械手的机械结构主要包括硅片原料定位机构设计，拾取吸盘运动机构（x、z方向），运料吸盘运动机构（x、y方向）；其动作转换靠设置在各个不同部位的传感器产生的信号传输到PLC控制器，通过PLC内部程序输出不同的信号，从而驱动外部线圈来控制电动滑台或电磁阀产生不同的动作，
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