整体图
真空腔体采用不锈钢304材质，厚度12mm，外圈设计了流道水路，腔体大小570宽*700高*500深，内设计四层料盘，每层尽高150，每层采用铝加热板加热，背部设计了一个安装口，带有8个CF35的电极接入口。
背部结构
分子泵
气动阀
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