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RTP快速退火炉操作便捷，快速退火炉电热元件采用红外灯管，升温速度快，节省时间，滑动法兰使装卸样品过程简化，方便操作，可快速得到实验结果，取消了反复的法兰安装过程，减少了炉管因安装造成的损坏。 RTP快速退火炉产品用途： 此款CVD生长系统适用于CVD工艺，如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容（MLCC）气氛烧结等实验。
料台进入炉内
石英管进入炉内
整体图
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