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三轴直线模组，其中Z轴有气动两组动作，Y轴一组气动动作，X轴是机械微调结构。X/Y/Z2三轴都采用导轨滑台进行导向，Z2轴使用光轴直线轴承导向。Y轴使用了刻度尺，便于位置调整。
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