弧源装配图
本实用新型涉及薄膜与涂层制备技术领域,具体地说是一种离子镀弧源头.靶材安装于靶材底座的一端,靶材底座底盘嵌套在靶材底座外,通过绝缘套进行密封保护,永久磁体装置安装在靶材底座内部空心位置,与靶材底座底部通过螺纹连接,靶材底座外围通过靶材底座屏蔽罩对内部进行保护;靶材底座底盘靠近靶材底座位置开一引弧装置安装孔,引弧装置的一端设置于引弧装置安装孔中,引弧装置的另一端与靶材相对应.
弧源导管法兰盘
弧源导管端盖
靶材出水口
弧源导管入水管2
靶材
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