技术要求:
1、下箱壳内部安装1块强电板。
2、下箱壳后侧挂板为铰链结构且配装暗抠锁。
3、设备最高温度:1050℃;
设备工作温度:1000℃;
加热区长度:200mm+200mm+200mm;
加热功率:1.5KW+1.5KW+1.5KW;
CVD(D)-06-60-3-03-1支架
CVD(D)-06-60-3-03-2连接板
CVD(D)-06-60-3-03-3石英管
CVD(D)-06-60-3-03-4底座法兰
CVD(D)-06-60-3-03-5压盖
CVD(D)-06-60-3-04-1控制面板
CVD(D)-06-60-3-04-2控制面膜
CVD(D)-06-60-3-01-1上箱壳
CVD(D)-06-60-3-01-2上箱盖板
CVD(D)-06-60-3-01-3耐材主框架
CVD(D)-06-60-3-01-4耐材侧板
CVD(D)-06-60-3-01-5下箱体框架
CVD(D)-06-60-3-01-6下箱壳体
CVD(D)-06-60-3-01-7右面板
CVD(D)-06-60-3-01-8左前门
CVD(D)-06-60-3-01-9下箱后门(1)
CVD(D)-06-60-3-01-9下箱后门
CVD(D)-06-60-3-02耐材装配
