渲染图
精密高速伺服电机驱动，转速达8000rpm，转速精准。大旋转加速度可达40000rpm/s（有负载的真实加速度）。全自动程序控制。超强耐腐蚀，304不锈钢机身，腔体采用NPP材料，旋转台采用PEEK材料。安全保护功能，真空吸片检测，腔体关闭检测。主要用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学器件等领域的表面涂膜工艺，例如各类纳米薄膜材料、光阻涂覆、生物功能涂层的制备
装配图
Z轴上座
电机支座
电机座
旋转工作台
液晶架
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