背部图
量产型升华仪，管径210，7个温区，上下独立控温（共14个控温点），尽快温控器，升华和收集区额外增加多个测温热电偶测试温度均匀性。进口磁悬浮分子泵、机械泵、进口真空计。PLC(自动/半自动/手动操作)。专利冷阱过滤系统(无液氨、冷媒等介质)，温度-120C。图纸包含stp跟IGS，SolidWorks三种格式。每个零件都画的非常细节。
侧面图
多视图
法兰抽口
法兰细节图
过滤箱
后轴测图
炉体打开
升华仪
温控界面
真空机组
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