划片机的总体规划及X、θ轴设计

00 装配图A0

IC封装是半导体三大产业之一(器件设计、晶片制作和器件封装)。其后封装工序主要包括:划片、粘片、超声球焊、封装、检测、包装。划片机是IC后封装线上的第一道关键设备，其作用是把制作好的晶片切割成单元器件，为下一步单元晶片粘接做好准备。但由于与国外技术存在差距，目前我国高端划片机仍然依赖进口。为了促进IC封装设备的国产化，本设计对划片机进行了总体规划并且对关键零部件进行了详细设计
在分析划片工艺要求的基础上，确定了划片机的主要功能，进而进行了划片机的各部分功能的原理方案设计。其次，提出了四种不同的结构方案，并详细对比了其优缺点，然后确定了结构方案设计，完成了划片机的总体规划。
接下来，针对划片工艺要求，进行了各部分结构的初步设计，包括各轴的传动方案、支承方案以及相关的结构参数。然后，根据课题要求，对划片机的Y、Z轴进行了详细设计，通过计算，分别完成了X、θ轴的丝杠螺母机构的选型、电机的选型、导轨的选型。最后，完成了划片机X、θ轴的装配图。

关键词：晶片；划片机；IC封装

02 直线导轨A2

03 滑动平台A3

05 端盖A4

06 晶片承载台A3

07 蜗轮支承轴A3

08 步进电机支承A4

开题报告_doc_1

中期报告_doc_1