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气浮垫研抛工艺及研抛机的结构设计CAD图纸+说明书

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气浮垫研抛工艺及研抛机的结构设计CAD图纸+说明书

总装配图2

随着精密、超精密技术的发展日益进步,机器及检测仪器等的精度要求越来越高,对气浮垫的制造精度也提出更高的要求。目前,由于气浮垫精密加工技术的研究还不够深入,因此,研究气浮垫的精密制造技术是气浮垫领域函须解决的课题。
根据气浮垫研磨设备对研磨工艺的要求,本文设计了一种专门的研磨机,并对研磨机的各个部分进行分析和说明。本课题对气浮垫精密研磨加工工艺规程设计,对工艺中需要的切削速度、加工工时等进行了分析计算。

关键词:气浮垫;研磨;加工工艺;机械结构

气动止推轴承

气动止推轴承

气浮垫滑块

气浮垫滑块

气浮垫滑块装配图

气浮垫滑块装配图

气腔

气腔

旋转密封装置

旋转密封装置

研磨盘托架

研磨盘托架

主轴

主轴

开题报告_doc_0

开题报告_doc_0

中期报告_doc_1

中期报告_doc_1

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