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晶元分选机分选头设计

图片展示附件预览 2022-09-07 文件列表浏览 下载 收藏已收藏 报告错误 手机访问 [复制链接]

晶元分选机分选头设计

设计了一种针对晶圆进行大小分机的机器。本文首先对晶圆分类概念进行了介绍,然后对相关技术国内外的发展现状进行了简介,吸取其中优点,设计出了本课题中的分级机器。本设计首先基于外形尺寸对分级机的结构方案进行了设计,然后对分级机中的上料结构和分级机构进行了详细设计,最后工作结构和传动机构进行了详细计算设计,为了保证机器运行寿命和可靠性,对关键受力部件进行了强度校核和标准件选型。

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